シリコンウェハー
シリコンウェハーまたはシリコンウェーハ (”silicon wafer”) は、珪素(シリコン)で作られたウェハー。
珪素のインゴットを厚さ1mm程度に切断したものであり、インゴットの直径は6インチ(150mm)、8インチ(200mm)、12インチ(300mm)のものがMOSデバイス用には一般的に使用されるが、ダイオード等のチップサイズの小さなものには未だに4インチ(100mm)、5インチ(125mm)のものも使われている。
基本的にチップサイズの大きなMPUや大量に生産してコストを低減する必要のあるメモリ(DRAM、Flash)には大口径のウェーハが使用され、300mm化の進展も著しい。
純度は現在、99.9999999999999%(15N)まで高められている。集積回路(IC/LSI)の製造に最も多く使用される。このウェーハにアクセプターやドナーとなる不純物導入や絶縁膜形成、配線形成をすることにより半導体素子を形成することができる。
記事出典元: Wikipedia日本語版











